证券日报网讯 2月9日，恒运昌在互动平台回答投资者提问时表示，公司已向国内头部晶圆厂交付Bestda等离子体射频电源，实现了国内首颗刻蚀设备用射频电源的原位替换。此外，公司Aspen系列等离子体射频电源和Basalt系列匹配器已在国内头部晶圆厂产线上替代了CVD（化学气相沉积）工艺设备中的海外等离子体射频电源及匹配器产品。
（编辑 王雪儿）
恒运昌：公司已向国内头部晶圆厂交付Bestda等离子体射频电源
信息来源：dianyuan365.com 时间： 2026-03-26 浏览次数：78
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