本文源自:金融界
金融界2024年10月25日消息，国家知识产权局信息显示，北京烁科中科信电子装备有限公司取得一项名为“一种离子注入机加热电源的校准装置”的专利，授权公告号CN 221860628 U，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种离子注入机加热电源的校准装置，包括上位机、加热电源和用于替代高温靶盘的靶盘替代单元；所述靶盘替代单元包括用于替代靶盘盘体的绝缘衬底、电阻单元、电极单元和测温单元；所述电阻单元内嵌于绝缘衬底内，所述电极单元的两端连接电阻单元和加热电源，所述加热电源与所述上位机通讯相连；所述测温单元与上位机通讯相连，用于监测绝缘衬底的温度并发送至上位机。本实用新型具有结构简单、成本低、避免高温靶盘破裂等优点。
